4Kマイクロスコープ【VHX-7000】の特徴
- 高解像度&低ノイズを誇る4K CMOSにより電子顕微鏡に迫る観察画像を撮影
- 20倍から600倍の撮影ができ、従来の6倍の高解像度観察が可能
- ガス軟窒化層やホモ被膜など、極めて薄い層を鮮明に撮影
- 結晶粒度を自動で測定し、粒度番号を算出
- 断層撮影による3次元画像作成や、画像連結による広範囲撮影
- 面の粗さや清浄度を数値として表示
- 3D画像合成により、高低差のある被写体を撮影
従来品との比較
■結晶粒度を自動で測定し、粒度番号を算出
従来品で撮影
4Kマイクロスコープで撮影
4Kマイクロスコープでできること
■3D画像により、高低差のある被写体の撮影が可能
3Dプロファイル計測(高さ)
・高さの異なる各部品にピントを合わせ、3D画像を作成
・ハレーション除去やHDR※1、OPT-SEM※2機能を使い、
最適な画像を作成
・作成した3D画像の断面をプロファイルすることにより、
高低差をグラフ化。また、高低差のカラー表示も可能
※1 解像度UP ※2 凹凸をくっきり描写
■面の粗さや清浄度を数値として表すことが可能
3Dプロファイル計測(面)
・1次元の線粗さ、2次元の表面粗さを数値化
・粒子を抽出し、画像に色分けし表示
・各サイズクラスの粒子数と、清浄度レベルを数値化